摘要

一、KNF 隔膜泵通用核心技術(shù)特性

1. 干式無(wú)油運(yùn)行：無(wú)需潤(rùn)滑介質(zhì)，可長(zhǎng)期干轉(zhuǎn)作業(yè)，不會(huì)產(chǎn)生油蒸氣污染管路，契合半導(dǎo)體無(wú)塵車間、精密分析儀器使用要求KNF集團(tuán)；

2. 模塊化材質(zhì)配置：過(guò)流部件可選 EPDM、PTFE、PVDF、不銹鋼等材質(zhì)，適配強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑、高純特種氣體；

3. 低脈動(dòng)流體輸送：搭載內(nèi)置脈沖阻尼結(jié)構(gòu)，優(yōu)化泵頭流道，降低流體脈沖波動(dòng)，保障微量計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)數(shù)據(jù)穩(wěn)定KNF集團(tuán)；

4. BLDC 數(shù)字化驅(qū)動(dòng)：DC-BI 無(wú)刷電機(jī)支持轉(zhuǎn)速自定義、啟停緩升緩降、故障信號(hào)輸出，可對(duì)接設(shè)備 PLC 實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化聯(lián)動(dòng)控制KNF集團(tuán)；

5. 自吸穩(wěn)定易維護(hù)：液體泵自吸高度可達(dá) 6 米水柱，隔膜、閥片為獨(dú)立易更換配件，整體運(yùn)維周期較長(zhǎng)，減少產(chǎn)線停機(jī)頻次；

6. 多規(guī)格小型化機(jī)身：微型泵、工業(yè)泵、實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)分級(jí)尺寸，適配緊湊型分析儀器、大型化工制程設(shè)備、臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室操作臺(tái)安裝。

二、主流 KNF 產(chǎn)品系列及代表型號(hào)技術(shù)介紹

2.1 NMP 系列微型氣體隔膜泵（NMP830 DC-BI、NMP850 HP）

• NMP830 DC-BI：基礎(chǔ)流量款，最大氣體流量 8.5L/min，支持連續(xù)真空抽取，適用于環(huán)境監(jiān)測(cè)采樣、色譜儀載氣循環(huán)；

• NMP850 HP：高壓加強(qiáng)版本，提升氣體壓縮上限，可用于半導(dǎo)體光刻稀有氣體回收、微量氣體加壓輸送；

  適配工況：便攜煙氣檢測(cè)儀、晶圓惰性氣體循環(huán)、醫(yī)療體外診斷設(shè)備氣路供給，可 24 小時(shí)不間斷低噪音運(yùn)行。

2.2 FP 系列平穩(wěn)流液體泵（FP70）

2.3 LABOPORT 實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)（N820 G、N840 G、N96）

• N820 G：基礎(chǔ)單泵真空機(jī)組，適配過(guò)濾、固相萃取、小型旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)；

• N840 G：雙泵增壓款，極限真空度更高，適配離心濃縮、凝膠干燥；

• N96：高耐溶劑泵頭，全 PTFE 隔膜組件，適合高沸點(diǎn)強(qiáng)腐蝕溶劑蒸餾；

  自帶三色運(yùn)行狀態(tài)顯示屏，轉(zhuǎn)速手動(dòng) / 自動(dòng)雙模式調(diào)節(jié)，廣泛應(yīng)用化學(xué)實(shí)驗(yàn)室、制藥研發(fā)分析工位。

2.5 N800 系列環(huán)境采樣泵（N828、N848）

三、分行業(yè)工況應(yīng)用說(shuō)明

3.1 半導(dǎo)體制造行業(yè)

1. 晶圓濕法清洗：FP70 液體泵輸送高純酸堿清洗液，低脈動(dòng)保障晶圓表面沖刷均勻；

2. 光刻工序：NMP850 HP 回收氙、氬稀有激光氣體，降低特種氣體消耗成本；

3. 檢測(cè)設(shè)備：NMP830 DC-BI 搭載探針臺(tái)、光學(xué)缺陷檢測(cè)儀，提供穩(wěn)定真空吸附與微量試劑供給；

4. 封裝制程真空吸附：LABOPORT 小型真空模組完成芯片吸附、塑封脫泡作業(yè)。

3.2 化工與精細(xì)制藥行業(yè)

1. 精細(xì)化工合成：NF600 輸送有機(jī)溶劑、酸堿反應(yīng)中間體，PTFE 泵頭抵御介質(zhì)腐蝕；

2. 廢氣在線監(jiān)測(cè)：N848 采樣泵抽取反應(yīng)釜尾氣，實(shí)時(shí)檢測(cè)廢氣組分；

3. 制藥研發(fā)：LABOPORT N96 配套旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀，處理高活性藥物溶劑，介質(zhì)無(wú)交叉污染；

4. 水處理藥劑投加：FP70 精準(zhǔn)計(jì)量絮凝劑、酸堿中和藥劑，流量穩(wěn)定可控。

3.3 化學(xué)與分析實(shí)驗(yàn)室

3.4 環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器

四、選型參考總結(jié)

1. 儀器內(nèi)置微型配套：優(yōu)先 NMP830 DC-BI、NMP850 HP 微型氣泵；

2. 微量高精度液體計(jì)量、高純潔凈工況：選用 FP70 平穩(wěn)流液體泵；

3. 臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室前處理、蒸餾濃縮：LABOPORT N820 G/N840 G/N96 真空系統(tǒng)；

4. 化工中試、工業(yè)腐蝕性液體輸送：NF300、NF600 工業(yè)液體泵；

5. 環(huán)境廢氣、大氣現(xiàn)場(chǎng)采樣：N828、N848 采樣隔膜泵。